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MEMS微振鏡

所屬分類：MEMS微振鏡 閱讀次數：30986 發布時間：2024-10-16

一種用于雙軸光學掃描的高性能振鏡。采用MEMS技術在硅襯底上形成鏡面，通過電磁驅動實現水平掃描和垂直掃描。


應用場景

  • 車載激光雷達

  • 車載HUD

  • 智能車燈

  • 微投影

  • 工業自動化

  • 醫療OCT

產品技術特點

  • 水平：諧振式驅動

  • 垂直：線性驅動

  • 雙軸獨立驅動，低串擾

  • 大視場角（FOV）

  • 體積小

  • 低功耗

  • 可靠性高，已通過內部類車規級可靠性測試

  • 內置角度和溫度傳感器

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